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フィールドエミッション電子プローブマイクロアナライザー（JXA-iHP200F）
- メーカー名
- 日本電子株式会社
- 型番
- JXA-iHP200F
- 仕様
- 【性能・仕様】
１．電子銃：電界放出形
２．加速電圧1～30 kV
３．照射電10 pA-3 μA
４．測定可能元素：B-U
５．最大試料サイズ：100 x 100 x 50 mm
６．オートローダー機能
【特徴】
１．波長分散型検出器5基搭載
（分析可能元素：B-U ）
２．エネルギー分散型検出器
（分析可能元素：B-U ）
３．分光結晶：14個搭載
４．アンチコンタミネーション設備
（O2ジェット搭載）
５。アンチコンタミネーション設備
（エバクトロン搭載）
６．任意の質量吸収係数を使用したオフ
ライン定量分析が可能
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
レーザ元素分析デジタルマイクロスコープ
- メーカー名
- 株式会社キーエンス
- 型番
- EA300
- 仕様
- 【性能・仕様】
・レーザ：Nd:YAGレーザ(クラス1)
・レーザ波長：355 nm
・レーザスポット径：10 µm
・観察倍率：300～1000倍
【特徴】
・大気条件下における高速測定
・Nd:YAGレーザ(レーザクラス1)を使用しデジタルマイクロスコープと併用してサンプルを測定可能
・広帯域（深紫外線～近赤外線）の発光線を検出可能
・複数個所を連続して測定可能
・同一箇所の深さ方向を測定可能
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
誘導結合プラズマ発光分光分析装置（マルチ型・デュアルビュー、Agilent5800、千現）
- メーカー名
- アジレント・テクノロジー株式会社(Agilent Technologies Japan, Ltd.)
- 型番
- Agilent5800
- 仕様
- 【性能・仕様】
1.プラズマ観測方向；軸方向と横方向に切り替え可能
2.分光器：エシェルクロス分散ポリクロメータ
波長範囲：167～785nm
Ar/N2パージシステム
3.検出器：CCD検出器
4.ICP部
プラズマガス：Ar
周波数：27MHz
RF出力：～1500W
【特徴】
１．多波長同時測定による高速測定（世界最速）
２．測光方向は軸方向及び横方向に切り替え可能で、多波長同時マルチキャリブレーション機能により低濃度溶液から高濃度溶液を希釈なしで測定可能
３．元素の検出下限濃度ppbレベル以下
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
電界放出形走査電子顕微鏡（SU8000）
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- SU8000
- 仕様
- ・冷陰極電界放出形電子銃
・対物レンズ：セミインレンズ型
・加速電圧：0.5～30 kV
・二次電子像分解能：1.0 nm（加速電圧15 kV）、 2.0 nm（加速電圧1 kV）、 リターディングモード：1.4 nm（照射電圧1 kV）
・リターディングモード 照射電圧：100 V～2.0 kV（加速電圧：500 V～3.0 kV）
・倍率：20～2千倍（低倍率モード）、80～80万倍（高倍率モード）
・最大試料サイズ：φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・透過電子信号（BF、擬似DF）検出
・EDS付属（Bluker FlatQUAD）
エネルギー分解能：129 eV以下
検出可能元素：B～U
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
電界放出形走査電子顕微鏡（JSM-6500F）
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JSM-6500F
- 仕様
- ・電界放出形電子銃
・加速電圧：0.5～30 kV
・二次電子像分解能：1.5 nm（加速電圧15 kV）、 5.0 nm（加速電圧1 kV）
・倍率：10～50万倍
・最大試料サイズ：φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・EDS付属（JED-2300）
エネルギー分解能：133 eV以下
検出可能元素：B～U
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡（JSM-7001F）
- メーカー名
- 日本電子株式会社
- 型番
- JSM7001F
- 仕様
- ・電界放出形電子銃
・加速電圧：0.5～30 kV
・二次電子像分解能：1.2 nm （加速電圧30 kV）、3.0 nm （加速電圧1 kV）
・倍率：10～1百万倍
・最大試料サイズ：φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・EDS付属（JED-2300）
エネルギー分解能：133 eV以下
検出可能元素：B～U
・EBSD：TSL OIM
DigiView 4.0、 Analysis 8.3
・格子歪み測定プログラムCrossCourt Ver.3、Ver.4+
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
卓上走査型電子顕微鏡（TM3000）
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- Miniscope TM3000
- 仕様
- ・倍率 15倍～30,000倍
・観察モード 通常モード、帯電軽減モード
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- バイオ分析ユニット
卓上電子顕微鏡 [TM3000]
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ / Bruker
- 型番
- TM3000
- 仕様
- ・反射電子観察
・最大倍率: 50000
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
FE-SEM+EDX [S-4800]
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ / 堀場製作所
- 型番
- S4800 / X-MAX 80
- 仕様
- ・加速電圧:0.5～30kV ,
・最大倍率:800k ,
・検出器:SE/BSE
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
FE-SEM+EDX [SU8000]
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ / Bruker
- 型番
- SU8000 / Quantax FQ5060
- 仕様
- ・加速電圧: 0.5～5kV ,
・最大倍率:800k ,
・加速電圧:SE/BSE
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
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