No.18 原子層堆積法（R2 NOFユーザースクール）

プログラム概要

対象	初級者
講習形式	座学と実習
開催日	2020年11月12日(木)
時間	10:00-17:00
定員	3名
開催場所	並木地区
内容	原子層堆積法に関して、成膜条件と膜質の関係を含んだ講義及び6インチウエハでの成膜及びエリプソ測定による面内膜厚測定の実習を行います。原子層堆積法を完全に理解したい初めての方におすすめのプログラムです。