No.15 リソグラフィ（マスクレス露光）

プログラム概要

対象	初級者
講習形式	座学と実習
開催日	2021年9月8日(水)
時間	10:00-17:00
定員	2名
開催場所	千現地区
内容	マスクレス露光プロセスの概要からパターン設計、重ね合わせ有り無し露光に関する講義及び実習を行います。マスクレス露光未経験の方におすすめのプログラムです。