NIMS Open Facility、新規登録のお知らせ(2026(令和8)年2月)
NIMS Open Facilityの設備について、新規登録、登録削除がありましたので、以下のとおりお知らせいたします。
設備登録
以下の設備は、NIMS Open Facilityとして新しく登録されました。ぜひご利用ください。
- マスクレス露光装置 [DL-1500iS2](2/1付)
- HMDSベーク処理装置 [APPS-30] (2/1付)
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- 2026年2月2日
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