微細加工共用施設

パターンを形成するためのリソグラフィ装置や、薄膜形成を行う成膜装置、材料を加工するためのエッチング装置、その他熱処理装置や試料観察・プロセス評価装置といった一連の微細加工プロセスが実施可能な装置群を提供しています。

動画中に登場する装置

125kV電子ビーム描画装置

高速マスクレス露光装置

全自動スパッタ装置

12連電子銃型蒸着装置

高圧ジェットリフトオフ装置

赤外線ランプ加熱装置

ICP原子層エッチング装置

走査電子顕微鏡

走査型プローブ顕微鏡

薄膜応力測定装置