NIMS Open Facility、新規登録、登録削除のお知らせ（2023(令和5)年4月）
NIMS Open Facilityの設備について、新規登録、登録削除がありましたので、以下のとおりお知らせいたします。
設備登録
以下の設備は、NIMS Open Facilityとして新しく登録されました。ぜひご利用ください。
- マスクレス露光装置 [MLA150]（4/1付）
- 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]（4/1付）
設備削除
以下の設備は、NIMS Open Facilityの共用設備から削除されました。これまでご利用いただきありがとうございました。
- プラズマアッシャー [PB600]（4/1付）
- エキシマクリーナー [EXC-1201]（4/1付）
- 20Tマグネット・希釈冷凍機システム（4/1付）
- 20Tマグネット・ヘリウム3冷凍機システム（4/1付）
- 17Tマグネット・ヘリウム4VTIシステム（4/1付）
- 高磁場下材料・プロセス観測・制御装置 （4/1付）
以上
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- 2023年4月1日
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