No.14 薄膜形成プロセス（CVD／ALD成膜）
プログラム概要
サムコ, PD-220NL
Picosun （アルテック）, SUNALE R-100B
ファイブラボ, MARY-102FM
東朋テクノロジー, FLX-2000-A
対象
初級者
講習形式
座学と実習
開催日
(上期)2019年8月21日(水)
(下期)2019年12月18日(水)
時間
10:00～17:00
定員
2名
開催場所
千現地区
内容
CVD/ALD成膜による薄膜形成プロセスの概要から、膜厚測定、膜応力測定に関する講義及び実習を行います。CVD/ALD成膜装置未経験の方におすすめのプログラムです。
問い合わせ先
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- 2019年8月27日
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