国立研究開発法人 物質・材料研究機構
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電子ビーム描画技術 [JBX-8100FS]
ユーザースクール
電子ビーム描画技術 [JBX-8100FS]
プログラム概要
対象
中級者
講習形式
座学と実習
開催日
2025年10月31日(金)
10月~12月の間に開催します
時間
10:00-16:00
定員
3名
開催場所
千現地区
内容
電子ビーム(EB)描画技術に関する実習を行います。EB描画の経験がある方を対象とします(装置問わず)。高速・高精度にパターンを形成するコツをレクチャーします。
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