国立研究開発法人 物質・材料研究機構
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リソグラフィ(マスクレス露光)
ユーザースクール
リソグラフィ(マスクレス露光)
プログラム概要
対象
初級者
講習形式
座学と実習
開催日
2020年9月9日(水)
時間
10:00-17:00
定員
2名
開催場所
千現地区
内容
マスクレス露光プロセスの概要からパターン設計、重ね合わせ有り無し露光に関する講義及び実習を行います。マスクレス露光未経験の方におすすめのプログラムです。
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