ユーザースクール

薄膜形成（蒸着・スパッタ）

プログラム概要

対象	初級者
講習形式	座学と実習
開催日	2021年9月15日(水)
時間	10:00-17:00
定員	2名
開催場所	千現地区
内容	蒸着／スパッタ成膜による薄膜形成プロセスの概要から、リフトオフプロセスによるラインパターン形成に関する講義及び実習を行います。蒸着/スパッタ成膜装置未経験の方におすすめのプログラムです。