国立研究開発法人 物質・材料研究機構
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ドライエッチング
ユーザースクール
ドライエッチング
プログラム概要
対象
初級者
講習形式
座学と実習
開催日
2021年9月22日(水)
時間
10:00-17:00
定員
2名
開催場所
並木地区
内容
ドライエッチングに関して、方式の違いや各パラメーターによる変化について解説します。ドライエッチング初心者の方におすすめのプログラムです。また、現在、エッチングでお困りの方には、解決に向けたアドバイスもいたします。
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