ユーザースクール

薄膜の評価（分光エリプソメトリ）

プログラム概要

対象	初級者
講習形式	座学と実習
開催日	2021年12月13日(月) ※開催日が変更になりました。
時間	10:00-17:00
定員	2名
開催場所	並木地区
内容	分光エリプソメーターによる膜厚測定および光学特性評価に関する講義及び実習を行います。成膜やエッチング加工例を題材にします。分光エリプソ未経験の方におすすめのプログラムです。