ユーザースクール

レーザーリソグラフィ

プログラム概要

対象	初級者
講習形式	座学と実習
開催日	2023年10月6日(金)
時間	10:00-17:00
定員	4名
開催場所	千現地区
内容	レーザーリソグラフィの概要について講義を実施した後、パターン設計から露光、現像まで一連のプロセスの実習を行います。グレースケール露光による3次元構造パターン（マイクロレンズアレイなど）を作製しますので、レーザーリソグラフィ未経験の方から3次元構造作製にご興味のある方までおすすめのプログラムです。