国立研究開発法人 物質・材料研究機構
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電子ビームリソグラフィ
ユーザースクール
電子ビームリソグラフィ
プログラム概要
対象
初級者
講習形式
座学と実習
開催日
2023年10月2日(月)
時間
10:00-17:00
定員
4名
開催場所
並木地区
内容
電子ビームリソグラフィの概要からパターン設計、重ね合わせ有り無し描画に関する講義及び実習を行います。電子ビームリソグラフィ未経験の方におすすめのプログラムです。
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