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微細組織三次元マルチスケール解析装置(SMF-1000)
- メーカー名
- (株)日立ハイテクサイエンス
- 型番
- SMF-1000
- 仕様
- ・トリプルビーム(FIB-SEM-Arイオン)装置
・FIBは最高1nmピッチで制御可能
・加工と観察を繰り返すことで3D像再構築が可能
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業9,900円/時間
- 中小企業16,500円/時間
- 大企業33,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置(Ethos NX5000)
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテク
- 型番
- Ethos NX5000
- 仕様
- 1. FIB: Ga液体金属イオン源、加速電圧0.5-30kV、分解能4nm (30kV)、最大ビーム電流100nA
2. SEM: 冷陰極電界放射型電子銃、加速電圧0.1-30kV、分解能0.7nm (15kV)、最大ビーム電流10nA
3. 低加速Arイオンビーム:加速電圧0.5-2kV、最大ビーム電流20nA
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業9,900円/時間
- 中小企業16,500円/時間
- 大企業33,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
FIB加工装置(JIB-4000)
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JIB-4000
- 仕様
- ・加速電圧:30kV
・分解能:5nm
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
FIB加工装置(JEM-9310FIB)
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JEM-9310FIB
- 仕様
- ・加速電圧:30kV
・分解能:8nm
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
FIB加工装置(JEM-9320FIB)
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JEM-9320FIB
- 仕様
- ・加速電圧:30kV
・分解能:6nm
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
FIB/SEM精密微細加工装置(Helios 650)
- メーカー名
- 日本エフイー・アイ株式会社 FEI Company Japan Ltd.
- 型番
- Helios 650
- 仕様
- 1. SIM像分解能5nm(@30kV)、最大電流65nA
2. SEM像分解能1.5nm(@1kV)、最大電流26nA
3. E-beam: 350V~30 kV、I-Beam: : 500V~30 kV
4. 試料ステージ: XY150 mm、Z10 mm、T: -9°~+57°、R: 360°
5. Ptデポ
6. サンプルリフトアウトシステム
【特徴】1.集束イオンビーム(FIB)加工が可能 2.走査型電子顕微鏡(SEM)観察が可能 3.カラム内で加工薄片をリフトアウト(マイクロサンプリング)可能,【備考】機器利用は利用前に講習が必要
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
- 中小企業11,000円/時間
- 大企業22,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
デュアルビーム加工観察装置(NB5000)
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- NB5000
- 仕様
- ・FIB :Acc.Volt. 1~40 kV, max.current 50 nA
・SEM :Acc. Volt. 0.5~30 kV, resolution 1 nm@15kV
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業9,900円/時間
- 中小企業16,500円/時間
- 大企業33,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
電界放出形走査電子顕微鏡(SU8000)
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- SU8000
- 仕様
- ・冷陰極電界放出形電子銃
・対物レンズ:セミインレンズ型
・加速電圧:0.5~30 kV
・二次電子像分解能:1.0 nm(加速電圧15 kV)、 2.0 nm(加速電圧1 kV)、 リターディングモード:1.4 nm(照射電圧1 kV)
・リターディングモード 照射電圧:100 V~2.0 kV(加速電圧:500 V~3.0 kV)
・倍率:20~2千倍(低倍率モード)、80~80万倍(高倍率モード)
・最大試料サイズ:φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・透過電子信号(BF、擬似DF)検出
・EDS付属(Bluker FlatQUAD)
エネルギー分解能:129 eV以下
検出可能元素:B~U
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
- 中小企業11,000円/時間
- 大企業22,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
電界放出形走査電子顕微鏡(JSM-6500F)
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JSM-6500F
- 仕様
- ・電界放出形電子銃
・加速電圧:0.5~30 kV
・二次電子像分解能:1.5 nm(加速電圧15 kV)、 5.0 nm(加速電圧1 kV)
・倍率:10~50万倍
・最大試料サイズ:φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・EDS付属(JED-2300)
エネルギー分解能:133 eV以下
検出可能元素:B~U
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
走査電子顕微鏡(JSM-6510)
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JSM-6510
- 仕様
- ・Wフィラメント電子銃
・加速電圧:0.5~30 kV
・二次電子分解能:3.0 nm(加速電圧30 kV)、 8.0 nm (加速電圧3 kV)、 15.0 nm(加速電圧1 kV)
・倍率:5~30万倍
・最大試料サイズ:φ150 mm
・操作ナビ画面にナビゲーション表示
・試料交換手順はフロー式で初心者でも簡単に試料交換可能
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
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