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共用設備

共用設備一覧

測定・解析 Measurement/Analysis

NMR Nuclear Magnetic Resonance

装置名 メーカー名 型番
NMR 日本電子 ECS-400
500MHz固体汎用NMRシステム(500 MHz Solid-State NMR I) (株)JEOL RESONANCE
オックスフォード・インストゥルメンツ(株)
JNM-ECA 500
500MHz固体高分解能NMRシステム(500 MHz Solid-State NMR II) (株)JEOL RESONANCE
ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株)
JNM-ECZ500R

800MHzナローボア固体高分解能NMRシステム(800 MHz narrow bore Solid-State NMR)

(株)JEOL RESONANCE
ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株)
JNM-ECA 800
800MHzワイドボア固体高分解能NMRシステム (株)JEOL RESONANCE ECZ800

X 線回折 X-ray Diffraction

装置名 メーカー名 型番
2波長CCD低温単結晶X線回折装置 リガク VariMax DW with Saturn
温度可変型粉末X線回折装置 リガク SmartLab (9 kW) with cryostat/furnace
高輝度・高感度型粉末X線回折装置 リガク SmartLab (9 kW)
簡易型粉末X線回折装置 リガク MiniFlex600
高速・高感度型粉末X線回折装置 リガク SmartLab3
簡易型粉末回折計-Cr リガク MiniFlex600-Cr
簡易型粉末回折計-Cu_N1 リガク MiniFlex600-Cu
XRD(粉末) リガク RINT-Ultima III
XRD(薄膜) リガク SmartLab
卓上型粉末回折計-Cu_N2 リガク MiniFlex600-Cu_N2

元素分析 Elemental Analysis

装置名 メーカー名 型番
電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置 日本電子 JXA-8500F
誘導結合プラズマ発光(分光)分析装置(マルチ型) アジレント・テクノロジー 720 ICP-OES
誘導結合プラズマ発光(分光)分析装置(高分解能型) 日立ハイテクサイエンス SPS3520UV-DD
誘導結合プラズマ発光分光分析装置(マルチ型・デュアルビュー アジレント・テクノロジー Agilent5800
微小部蛍光X線分析装置 アメテック ORBIS PC
フェムト秒レーザー装置 サイバーレーザー IFRIT
走査型オージェ電子分光分析装置 日本電子 JAMP-9500F
X線光電子分光分析装置 アルバック・ファイ Quantera SXM
酸素窒素水素分析装置、炭素硫黄分析装置 LECOジャパン ONH836、CS844
イオンクロマトグラフシステム サーモフィッシャーサイエンティフィック ICS1600
前処理装置群 山田電機、マイルストーンゼネラル、平和テクニカ、LECOジャパン、コクサン、アサヒ理化学製作所
走査型硬X線光電子分光分析装置 アルバックファイ PHI Quantes

質量分析 Mass Spectrometry

装置名 メーカー名 型番
二重収束型ICP質量分析装置 サーモフィッシャーサイエンティフィック ELEMENT XR
飛行時間型二次イオン質量分析装置 アルバック・ファイ PHI TRIFT V nanoTOF
マルチガス導入グロー放電質量分析システム サーモフィッシャーサイエンティフィック VG9000
四重極型ICP質量分析装置 アジレント・テクノロジー株式会社 Agilent7850

成分分析 Component Analysis

装置名 メーカー名 型番
リサイクル分取GPC 日本分析工業 LC-9201
GPC 島津製作所 Shimadzu Nexera 40
GPC 昭和電工 Shodex GPC-101
多角度光散乱検出器 ワイアット・テクノロジー Wyatt Technology DAWN 8
フーリエ変換赤外分光光度計 島津製作所 IRTracer-100
フーリエ変換赤外分光装置 島津製作所 IRAffinity-1S
走査型硬X線光電子分光分析装置 アルバックファイ PHI Quantes

バイオ Biological Analysis

装置名 メーカー名 型番
リアルタイムPCR ロシュ LightCycler 480 System II
マイクロアレイスキャナー アジレント・テクノロジー SureScan G4900DA
細胞分離分析システム ソニー Cell sorter SH800 / Cell analyzer SP6800
グローブボックス MBRAWN Uni Lab
卓上超遠心分離機  ベックマン・コールター Optima-TLX
超遠心分離機  ベックマン・コールター Optima-LE80K
FPLC  GEヘルスケア FPLC AKTA
スプレードライヤー Buchi B-290
電気炉 アドバンテック FUH632DA
プラズマクリーナー ヤマト科学 PDC200
凍結乾燥機 東京理化器械 FDU-2110
CO2インキュベーター 三洋電機 MCO-40AIC
クリーンベンチ ヤマト科学 ADS131RMUGZ
安全キャビネット 三洋電機 MH131AJ
表面プラズモン解析装置 GEヘルスケア Biacore-X100
円二色性分散計 日本分光 J-725
LC-MS/MS AMR Zaplous
LC-MS/MS (Q-Exactive) サーモフィッシャーサイエンティフィック Q-Exactive Plus
プレートリーダー パーキンエルマージャパン EnSight

液中原子間力顕微鏡

ブルカージャパン株式会社

NanoWizard 4 XP

 

観察・分析 Observation/Analysis

表面顕微鏡 Surface Microscope

ラマン顕微鏡 レニショー Renishaw

inVia Reflex

蛍光分光計(Fluorolog-3) 堀場製作所

Fluorolog-3

液中原子間力顕微鏡 ブルカージャパン株式会社

NanoWizard 4 XP

光学顕微鏡 Optical Microscope

装置名 メーカー名 型番
レーザーマイクロダイセクションシステム ライカマイクロシステムズ LMD7000
ラマン顕微鏡 レニショー Renishaw inVia Reflex
3次元測定レーザー顕微鏡 オリンパス LEXT OLS4000
共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡 ライカマイクロシステムズ SP5
カラーレーザー顕微鏡 キーエンス VK9-9700G
液中原子間力顕微鏡 ブルカージャパン株式会社 NanoWizard 4 XP

三次元解析 Three Dimensional Analysis

装置名 メーカー名 型番
微細組織三次元マルチスケール解析装置 日立ハイテクサイエンス Hitachi SMF-1000
TEM試料作製用集束イオンビーム加工装置 サーモフィッシャー ThermoFisher Scios2

電子顕微鏡 Electron Microscope

装置名 メーカー名 型番
FIB加工装置 日本電子 JEM-9320FIB
FIB加工装置 日本電子 JEM-9310FIB
FIB加工装置 日本電子 JIB-4000
デュアルビーム加工観察装置 (株)日立ハイテクノロジーズ NB5000
FIB-SEMダブルビーム装置 SII ナノテクノロジー XVision200DB
清浄表面組織観察FIB-SEM装置 カールツァイス ZEISS AurigaLaser
走査電子顕微鏡 日本電子 JSM-7000F
極低加速電圧電界放出形走査電子顕微鏡 日立ハイテクノロジーズ SU8000
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 日立ハイテクノロジーズ S-5500
電界放出形走査電子顕微鏡 日本電子 JSM-6500F
走査電子顕微鏡 日本電子 JSM-6510
走査電子顕微鏡 日立ハイテクノロジーズ S-4800
卓上電子顕微鏡 日立ハイテクノロジーズ Miniscope TM3000
卓上電子顕微鏡(TM4000PlusII) 日立ハイテクノロジーズ TM4000PlusII
FE-SEM(SU8230)+EDX 日立ハイテクノロジーズ SU8230
FE-SEM(S-4800)+EDX 日立ハイテクノロジーズ / 堀場製作所 S4800 / X-MAX 80
FE-SEM(SU8000)+EDX 日立ハイテクノロジーズ / Bruker SU8000 / Quantax FQ5060
ミニSEM+EDX 日立ハイテクノロジーズ / Bruker TM3000
走査型電子顕微鏡 日本電子 JEOL JSM-7900
ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡 日本電子 JSM7001F
実動環境対応物理分析電子顕微鏡 日本電子 JEM-ARM200F-G
200kV電界放出形透過電子顕微鏡 日本電子 JEM-2100F1
200kV電界放出形透過電子顕微鏡 日本電子 JEM-2100F2
200kV透過電子顕微鏡 日本電子 JEM-2100
透過電子顕微鏡 日本電子 JEM2100F
単原子分析電子顕微鏡 FEI FEI Titan Cubed
冷陰極電界放出形電子顕微鏡 日立ハイテクノロジーズ HF-3000S
冷陰極電界放出形ローレンツ電子顕微鏡 日立ハイテクノロジーズ HF-3000L
100kV透過電子顕微鏡 日本電子 JEM-1010
200kV透過電子顕微鏡 日本電子 JEM-2000EX

300kV収差補正電子顕微鏡(Grand-ARM)

日本電子 JEM-ARM300F
実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡 日本電子 JEM-ARM200F-B
局所変形観察・解析電子顕微鏡(透過型電子顕微鏡) 日本電子 JEOL JEM-2800
広空間・高分解能分析電子顕微鏡 日本電子 JEOL ARM-300F
HRTEM解析システム    
電子線トモグラフィー解析システム    
DPC解析システム HREM qDPC 64bit
ウルトラミクロトーム ライカマイクロシステムズ EM UC6
ディンプルグラインダー(TEM試料作製装置群) Gatan Model 656
精密イオン研磨装置(PIPS 2)(TEM試料作製装置群) Gatan Model 695
精密イオン研磨装置(PIPS)(TEM試料作製装置群) Gatan Model 691
イオンスライサー(TEM試料作製装置群) 日本電子 EM-09100IS
ターボ式真空蒸着装置(TEM試料作製装置群) サンユー電子 SVC-700
オスミウムコーター(1)(TEM試料作製装置群) 日本レーザー電子 NL-OPC80A
カーボンコーター 日本電子 JEC-560
白金コーター                 日本電子 JFC-1600
自動精密切断機 BEUHLER  
楔形研磨装置                  Allied  
精密コーティングシステム Gatan Model 682
平面研磨装置 マルトー ダイヤラップ ML-150L
金コーター   JFC-1500
超音波ディスクカッター   Model 601
TEM試料作製補助装置群(TEM試料作製装置群)    
ピックアップシステム  - Pick-up System
無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置 フィッシオーネ Model 1040 Nanomill
イオンスパッタ 日立ハイテクノロジーズ E-1045
FIB/SEM精密微細加工装置 日本エフイー・アイ Helios 650
2軸傾斜液体窒素冷却TEM試料ホルダー Gatan Gatan 636
2軸傾斜バイアス印可・加熱TEM試料ホルダー DENSsolutions Lightning
小型精密切断器(セラミックス試料作製装置群) TECHNOORG-LINDA MS2 MICROSAW
卓上研磨機(セラミックス試料作製装置群) マルトー ML-180 DoctorLap
標準形デジタルインジケータ(セラミックス試料作製装置群) ミツトヨ 543-175 デジタルインジケータ
ディンプルグラインダ(セラミックス試料作製装置群) ガタン 656 DimpleGrinder
ホットプレート(セラミックス試料作製装置群) アズワン HP-1SAハイパワーデジタルホットプレート
マルチコーター(セラミックス試料作製装置群) 真空デバイス VES-30T
精密イオン研磨装置(セラミックス試料作製装置群) ガタン 695PIPS II
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置 株式会社日立ハイテク Ethos NX5000
200kV透過電子顕微鏡(Talos F200X G2) 日本エフイー・アイ株式会社 Talos F200X G2

プローブ顕微鏡 Probe Microscope

装置名 メーカー名 型番
AFM(原子間力顕微鏡) SII ナノテクノロジー L-Trace
走査プローブ顕微鏡 ブルカージャパン Nanoscope 5
高速広域走査型プローブ顕微鏡 オックスフォード・インストゥルメンツ Jupiter XR

液中原子間力顕微鏡

ブルカージャパン株式会社

NanoWizard 4 XP

 

評価・計測 Evaluation/Measurement

磁場環境 Magnetic Field Environment

装置名 メーカー名 型番
大口径超伝導マグネット 自家製
18T汎用超伝導マグネット装置 ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー JSD-18T52
15T超伝導スプリットマグネット装置 ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー Teslatron H 15T Sprit pair magnet
冷凍機伝導冷却型10T超伝導マグネット装置-2 住友重機械工業 ソレノイド中空貫通型
試料振動型磁化測定装置(VSM) オックスフォード・インストゥルメンツ Maglab VSM system
冷凍機伝導冷却型12T超伝導マグネット装置 ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー JMTD-12T100
20Tマグネット・希釈冷凍機システム オックスフォード・インストゥルメンツ
20Tマグネット・ヘリウム3冷凍機システム オックスフォード・インストゥルメンツ
17Tマグネット・ヘリウム4VTIシステム オックスフォード・インストゥルメンツ
強磁場光学測定システム クライオジェニック
大口径17Tマグネット ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー F015
高磁場下材料・プロセス観測・制御装置 ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー JMTD-10C13E-NC (Superconducting magnet)

電気計測 Electric Measurement

装置名 メーカー名 型番
ワイヤーボンダー(1) ハイソル (West·Bond) 7476D
ワイヤーボンダー(2) West·Bond Model 7476D
室温プローバーシステム ベクターセミコン, アジレント・テクノロジー MX-200/B, B1500A
室温プローバー アジレント・テクノロジー, ハイソル B1500A
低温プローバ Keithley、ナガセ電子機器 4200 SCS, Grail-408-32-B
液体窒素プローバーシステム サーマルブロック、ケースレーインスツルメンツ SB-LN2PS, 4200-SCS

物性評価 Physical Properties Evaluation

装置名 メーカー名 型番
接触角測定装置(材料分析装置群) AST products VCA Optima XE
強度物性測定器(材料分析装置群) 英弘精機 TA-XT2i
薄膜応力測定装置 東朋テクノロジー FLA-2000-A
分光光度計 日立ハイテクノロジーズ U-2900
紫外可視近赤外分光光度計V-770 日本分光 V-770
蛍光分光光度計(低温測定付属)(分子材料分光分析装置群) 日立ハイテクノロジーズ F-7000
蛍光分光計 日本分光 FP-8500DS
蛍光分光計(Fluorolog-3) 堀場製作所 Fluorolog-3
レーザー回折式粒度分布測定装置(ナノ材料分析装置群) 島津製作所 SALD-2100
動的光散乱光度計(ダイナミック光散乱光度計)(ナノ材料分析装置群) 大塚電子 DLS-8000HAL
レーザーゼータ電位計(ナノ材料分析装置群) 大塚電子 ELSZ-1000Z
ゼータ電位&粒径測定装置 大塚電子 ELSZ-2000ZS
分光エリプソメーター J.A.Woollam M-2000U
自動エリプソメーター ファイブラボ MARY-102FM
顕微式自動膜厚測定システム フィルメトリクス F54-XY-200-UV
熱分析装置(TG/DTA+DSC) 日立ハイテクサイエンス TG/DTA 6200, X-DSC7000

液中原子間力顕微鏡

ブルカージャパン株式会社

NanoWizard 4 XP

形状測定 Profile Measurement

装置名 メーカー名 型番
表面段差計 ブルカージャパン DekTak 6M
高精度三次元座標測定機 ミツトヨ CRYSTA-Apex S9106

液中原子間力顕微鏡

ブルカージャパン株式会社

NanoWizard 4 XP

塑性加工 Plastic Working

装置名 メーカー名 型番
1500トン鍛造シミュレータ 住友重機械工業
25t加工熱処理シミュレータ 富士電波工機 Thermecmaster Z

 

加工・作製 Processing/Fabrication

ガラス加工 Glass Working

装置名 メーカー名 型番
硝子工作室装置群

素材作製 Metal Working

装置名 メーカー名 型番
水冷銅ルツボ高周波誘導溶解設備 富士電機、NIMS -
5kg高周波誘導真空溶解設備 日新技研 NEV-M5V
30kg高周波誘導真空溶解設備 日新技研 NEV-M30
加圧式エレクトロスラグ再溶解設備 日本特殊機械 型番なし
鍛造設備 (油圧プレス) 川崎油工 HFP2-300
70ton大型スウェージングマシーン 日本クロス圧延 15HP-DH4
18ton小型スウェージングマシーン 日本クロス圧延 USD-6000
熱間2段ロール圧延機 大野ロール HOT-12
溝ロール圧延機 大野ロール 2RMG-400S
冷間4段ロール圧延機 日本クロス圧延 120DX270W-300DX250W
歪み速度制御圧延機 大野ロール 2RM-400S
金属箔圧延機 有限会社トップラントエンジ
鍛圧用加熱炉(max.1250℃) 日新化熱工業  
鍛圧用移動式加熱炉(max.1200℃) 日新化熱工業 EBS-1(S)
溝圧用加熱炉(max.1250℃) 光洋サーモシステム SB-20232
熱処理炉(max.1400℃) 日新化熱工業 EBS-10(S)
焼鈍用熱処理炉(max.850℃) 日新化熱工業 EB-5S
マルチ冷却式真空熱処理炉 佐藤真空
電子ビーム溶接機 三菱電機 EBW-35HB
ワイヤ放電加工機 ファナック α-C400iA
材料創製共通設備群
千現機械工作室 工作機械群
並木機械工作室 工作機械群
試料作製室装置群

微細加工 Microfabrication

装置名 メーカー名 型番
125kV電子ビーム描画装置 エリオニクス ELS-F125
高速マスクレス露光装置 ナノシステムソリューションズ DL-1000 / NC2P
レーザー露光装置 ナノシステムソリューションズ DL-1000
コンタクトアライナー ズース・マイクロテック MA-6
全自動スパッタ装置 アルバック J sputter
多元スパッタ装置(i-miller) 芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL
スパッタ 1号機 芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL(4G)
スパッタ 2号機 芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL
12連電子銃型蒸着装置 アールデック RDEB-1206K
6連自動蒸着装置 アールデック ADS-E86
多連電子ビーム蒸着装置 エイコーエンジニアリング
プラズマCVD装置 サムコ PD-220NL
原子層堆積装置 アルテック/Picosun SUNALE R-150 ALD
多機能型原子層堆積装置 サムコ AD-230LP
多目的ドライエッチング装置(フッ素系ガスCCP-RIE) サムコ RIE-200NL
化合物ドライエッチング装置(塩素系ガス ICP-RIE) サムコ RIE-101iPH
シリコン深堀エッチング装置 住友精密工業 MUC-21 ASE-SRE
酸化膜ドライエッチング装置(フッ素系ガス ICP-RIE) 住友精密工業 MUC-21 RV-APS-SE
ドライエッチング装置 アルバック CE300I
ICP原子層エッチング装置 オックスフォード・インストゥルメンツ PlasmaPro 100 Cobra 300 ALE
高圧ジェットリフトオフ装置 カナメックス KLO-150CBU
プラズマアッシャー ヤマト科学 PB-600Z
UVオゾンクリーナー サムコ UV-1
エキシマクリーナー マルチプライ EXC-1201
ウエハRTA装置 ハイソル (Allwin21) AccuThermo AW610
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 RTP-6
触針式プロファイラ ブルカージャパン Dektak XT-A
RTA(赤外線急速アニール炉:6inch) アルバック RTP-6
ダイシングソー ディスコ DAD322
ダイシング装置 ディスコ DAD-3220
水蒸気プラズマ洗浄装置 サムコ AQ-500
高解像度レーザーリソグラフィ装置 ハイデルベルグ・インストルメンツ DWL66+
高速高精細電子ビーム描画装置 株式会社 エリオニクス ELIONIX INC.
クリーンルーム付帯設備 ヤマト科学(株)、ミカサ(株)、オリンパス(株)     ー

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