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共用設備

共用設備一覧

測定・解析 Measurement/Analysis

NMR Nuclear Magnetic Resonance

装置名 メーカー名 型番
NMR 日本電子(株) ECS-400
500MHz固体汎用NMRシステム オックスフォード・インストゥルメンツ(株) ECA500
500MHz固体高分解能NMRシステム ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株) ECA500
300MHz固体広幅NMRシステム オックスフォード・インストゥルメンツ(株) Oxford NMR 300
800MHz固体高分解能NMRシステム (株)JEOL RESONANCE ECA800
400MHz固体高分解能NMRシステム オックスフォード・インストゥルメンツ(株) Oxford NMR 400

X 線回折 X-ray Diffraction

装置名 メーカー名 型番
2波長CCD低温単結晶X線回折装置 (株)リガク VariMax DW with Saturn
温度可変型粉末X線回折装置 (株)リガク SmartLab (9 kW) with cryostat/furnace
高輝度・高感度型粉末X線回折装置 (株)リガク SmartLab (9 kW)
簡易型粉末X線回折装置 (株)リガク MiniFlex600
高速・高感度型粉末X線回折装置 (株)リガク SmartLab3
簡易型粉末回折計-Cr (株)リガク MiniFlex600-Cr
粉末回折計 (株)リガク RINT Ultima 3
簡易型粉末回折計-Cu_N1 (株)リガク MiniFlex600-Cu
XRD(粉末) (株)リガク RINT-Ultima III
XRD(薄膜) (株)リガク SmartLab
高輝度放射光薄膜・ナノ構造用回折計 神津精機 NZD-2
高輝度放射光高分解能粉末X線回折装置 理学電機/理学相原精機 SOR-PD1

元素分析 Elemental Analysis

装置名 メーカー名 型番
電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置 日本電子(株) JXA-8900R改
電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置 日本電子(株) JXA-8500F
電子線プローブマイクロアナライザー装置 日本電子(株) JXA-8900RL
誘導結合プラズマ発光分析装置(シーケンシャル型) (株)島津製作所 ICPS8100CL
誘導結合プラズマ発光分析装置(マルチ型) サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) iCAP6300
誘導結合プラズマ発光(分光)分析装置(マルチ型) アジレント・テクノロジー(株) 720 ICP-OES
誘導結合プラズマ発光(分光)分析装置(高分解能型) (株)日立ハイテクサイエンス SPS3520UV-DD
微小部蛍光X線分析装置 アメテック株式会社 ORBIS PC
フェムト秒レーザー装置 サイバーレーザー(株) IFRIT
走査型オージェ電子分光分析装置 アルバック・ファイ(株) PHI 680
走査型オージェ電子分光分析装置 日本電子(株) JAMP-9500F
X線光電子分光分析装置 アルバック・ファイ(株) Quantera SXM
XPS(X線光電子分光装置) アルバック・ファイ(株) Quantum-2000
酸素窒素水素分析装置、炭素硫黄分析装置 LECOジャパン合同会社 ONH836、
CS844
イオンクロマトグラフシステム サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) ICS1600
前処理装置群 山田電機(株)、マイルストーンゼネラル(株)、平和テクニカ(株)、LECOジャパン合同会社、(株)コクサン、(株)アサヒ理化学製作所
放射光硬X線光電子分光装置 VGシエンタ (電子分光器) R4000-HKE
試料自動交換システム付放射光硬X線光電子分光装置 VGシエンタ (電子分光器) R4000-HKE

質量分析 Mass Spectrometry

装置名 メーカー名 型番
二重収束型ICP質量分析装置 サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) ELEMENT XR
飛行時間型二次イオン質量分析装置 アルバック・ファイ(株) PHI TRIFT V nanoTOF
マルチガス導入グロー放電質量分析システム サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) VG9000

成分分析 Component Analysis

装置名 メーカー名 型番
リサイクル分取GPC 日本分析工業 LC-9201
GPC 東ソー HLC-8220GPC
GPC 昭和電工 Shodex GPC-101
多角度光散乱検出器 ワイアット・テクノロジー DAWN HELEOS
フーリエ変換赤外分光光度計 (株)島津製作所 IRTracer-100
フーリエ変換赤外分光光度計 (FT-IR) サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) Nicolet 4700DR

バイオ Biological Analysis

装置名 メーカー名 型番
リアルタイムPCR ロシュ LightCycler 480 System II
マイクロアレイスキャナー アジレント・テクノロジー(株) SureScan G4900DA
細胞分離分析システム ソニー Cell sorter SH800 / Cell analyzer SP6800
グローブボックス MBRAWN Uni Lab
卓上超遠心分離機  ベックマン・コールター Optima-TLX
超遠心分離機  ベックマン・コールター Optima-LE80K
FPLC  GEヘルスケア FPLC AKTA
スプレードライヤー Buchi B-290
電気炉 アドバンテック FUH632DA
プラズマクリーナー ヤマト科学(株) PDC200
凍結乾燥機 東京理化器械 FDU-2110
表面プラズモン解析装置 GEヘルスケア Biacore-X100
円二色性分光器 日本分光 J-725
LC-MS/MS AMR Zaplous
LC-MS/MS (Q-Exactive) サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) Q-Exactive Plus

 

観察・分析 Observation/Analysis

表面顕微鏡 Surface Microscope

装置名 メーカー名 型番
走査型ヘリウムイオン顕微鏡 カールツァイス ORION Plus
スピン偏極低エネルギー電子顕微鏡 エルミテック  LEEM III

光学顕微鏡 Optical Microscope

装置名 メーカー名 型番
ライブセル高速イメージング・全反射蛍光顕微鏡 ライカマイクロシステムズ AF6000LX
プレートリーダー コロナ電気 MTP-880Lab
正立型蛍光顕微鏡(微分干渉) ライカマイクロシステムズ DM2500Fluo/DIC
正立型蛍光顕微鏡(位相差) ライカマイクロシステムズ DM2500Fluo/PH
レーザーマイクロダイセクションシステム ライカマイクロシステムズ LMD7000
クライオスタット  ライカマイクロシステムズ CM1850
レーザーラマン顕微鏡 ナノフォトン Raman plus
3次元測定レーザー顕微鏡 オリンパス LEXT OLS4000
共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡 ライカマイクロシステムズ SP5
カラーレーザー顕微鏡 キーエンス VK9-9700G

三次元解析 Three Dimensional Analysis

装置名 メーカー名 型番
微細組織三次元マルチスケール解析装置 (株)日立ハイテクサイエンス Hitachi SMF-1000
TEM試料作製用集束イオンビーム加工装置 サーモフィッシャー ThermoFischer Scios2
マイクロフォーカスX線CT装置 (株)島津製作所 SMX-160CTS

電子顕微鏡 Electron Microscope

装置名 メーカー名 型番
FIB加工装置 日本電子(株) JEM-9320FIB
FIB加工装置 日本電子(株) JEM-9310FIB1
FIB加工装置 日本電子(株) JEM-9310FIB2
FIB加工装置 日本電子(株) JIB-4000
デュアルビーム加工観察装置 (株)日立ハイテクノロジーズ NB5000
FIB-SEMダブルビーム装置 SII ナノテクノロジー(株)  XVision200DB
集束イオンビーム加工装置 (株)日立ハイテクノロジーズ FB-2000S
清浄表面組織観察FIB-SEM装置 カールツァイス ZEISS AurigaLaser
走査電子顕微鏡 日本電子(株) JSM-7000F
極低加速電圧電界放出形走査電子顕微鏡 (株)日立ハイテクノロジーズ SU8000
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 (株)日立ハイテクノロジーズ S-5500
電界放出形走査電子顕微鏡 日本電子(株) JSM-6500F
走査電子顕微鏡 日本電子(株) JSM-6510
走査電子顕微鏡 (株)日立ハイテクノロジーズ S-4800
卓上電子顕微鏡 (株)日立ハイテクノロジーズ Miniscope TM3000
FE-SEM(SU8230)+EDX (株)日立ハイテクノロジーズ SU8230
FE-SEM(S-4800)+EDX 日立ハイテクノロジーズ / 堀場製作所 S4800 / X-MAX 80
FE-SEM(SU8000)+EDX 日立ハイテクノロジーズ / Bruker SU8000 / Quantax FQ5060
ミニSEM+EDX 日立ハイテクノロジーズ / Bruker TM3000
走査型電子顕微鏡 日本電子(株) JEOL JSM-7900
実動環境対応物理分析電子顕微鏡 日本電子(株) JEM-ARM200F-G
300kV電界放出形透過電子顕微鏡 FEI Tecnai G2 F30
300kV電界放出形電子顕微鏡 日本電子(株) JEM-3000F
200kV電界放出形透過電子顕微鏡 日本電子(株) JEM-2100F1
200kV電界放出形透過電子顕微鏡 日本電子(株) JEM-2100F2
200kV透過電子顕微鏡 日本電子(株) JEM-2100
透過電子顕微鏡 日本電子(株) JEM2100F
単原子分析電子顕微鏡 FEI FEI Titan Cubed
走査透過電子顕微鏡 (株)日立ハイテクノロジーズ HD-2300C
冷陰極電界放出形電子顕微鏡 (株)日立ハイテクノロジーズ HF-3000S
冷陰極電界放出形ローレンツ電子顕微鏡 (株)日立ハイテクノロジーズ HF-3000L
100kV透過電子顕微鏡 日本電子(株) JEM-1010
実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡 日本電子(株) JEM-ARM200F-B
原子識別電子顕微鏡 日本電子(株) JEM-3100FEF
局所変形観察・解析電子顕微鏡(透過型電子顕微鏡) 日本電子(株) JEOL JEM-2800
広空間・高分解能分析電子顕微鏡 日本電子(株) JEOL ARM-300F
HRTEM解析システム    
電子線トモグラフィー解析システム    
クロスセクションポリッシャ 日本電子(株) SM-09020CP
ウルトラミクロトーム ライカマイクロシステムズ EM UC6
ディンプルグラインダー(TEM試料作製装置群) Gatan Model 656
精密イオン研磨装置(PIPS 2)(TEM試料作製装置群) Gatan Model 695
精密イオン研磨装置(PIPS)(TEM試料作製装置群) Gatan Model 691
イオンスライサー(TEM試料作製装置群) 日本電子(株) EM-09100IS
ターボ式真空蒸着装置(TEM試料作製装置群) サンユー電子 SVC-700
オスミウムコーター(1)(TEM試料作製装置群) 日本レーザー電子 NL-OPC80A
カーボンコーター 日本電子(株) JEC-560
ハイブリッドコーター クォーラムテクノロジーズ Q150RES
白金コーター                 日本電子(株) JFC-1600
自動精密切断機 BEUHLER  
楔形研磨装置                  Allied  
精密コーティングシステム Gatan Model 682
平面研磨装置 マルトー ダイヤラップ ML-150L
金コーター   JFC-1500
超音波ディスクカッター   Model 601
TEM試料作製補助装置群(TEM試料作製装置群)    
低加速イオン研磨装置(セラミックス試料作製装置群) 日立ハイテクノロジーズ GentleMill HI
小型精密切断器(セラミックス試料作製装置群) TECHNOORG-LINDA MS2 MICROSAW
卓上研磨機(セラミックス試料作製装置群) マルトー ML-180 DoctorLap
標準形デジタルインジケータ(セラミックス試料作製装置群) ミツトヨ 543-175 デジタルインジケータ
ディンプルグラインダ(セラミックス試料作製装置群) ガタン 656 DimpleGrinder
ホットプレート(セラミックス試料作製装置群 ) アズワン HP-1SAハイパワーデジタルホットプレート
マルチコーター(セラミックス試料作製装置群) 真空デバイス VES-30T
精密イオン研磨装置(セラミックス試料作製装置群) ガタン 691PIPS
精密イオン研磨装置(セラミックス試料作製装置群) ガタン 695PIPS II
ピックアップシステム  - Pick-up System
無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置 フィッシオーネ Model 1040 Nanomill
イオンスパッタ (株)日立ハイテクノロジーズ E-1045
オスミウムコータ(2) メイワフォーシス Neoc-Pro

プローブ顕微鏡 Probe Microscope

装置名 メーカー名 型番
極低温・高磁場走査型トンネル顕微鏡 ユニソク VLT-STM
低温走査型トンネル顕微鏡 ユニソク LT-STM
原子間力顕微鏡 SII ナノテクノロジー(株)  L-trace2
AFM(原子間力顕微鏡) SII ナノテクノロジー(株)   L-Trace
ナノサーチ顕微鏡 (株)島津製作所 SFT-3500
走査プローブ顕微鏡 ブルカージャパン(株) Nanoscope 5
環境制御型周波数変調方式走査型プローブ顕微鏡 (株)島津製作所 SPM-8000FM

 

評価・計測 Evaluation/Measurement

磁場環境 Magnetic Field Environment

装置名 メーカー名 型番
大口径超伝導マグネット 自家製
18T汎用超伝導マグネット装置 ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株) JSD-18T52
15T超伝導スプリットマグネット装置 ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株) Teslatron H 15T Sprit pair magnet
冷凍機伝導冷却型10T超伝導マグネット装置-2 住友重機械工業(株) ソレノイド中空貫通型
試料振動型磁化測定装置(VSM) オックスフォード・インストゥルメンツ(株) Maglab VSM system
冷凍機伝導冷却型12T超伝導マグネット装置 ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株) JMTD-12T100
20Tマグネット・希釈冷凍機システム オックスフォード・インストゥルメンツ(株)
20Tマグネット・ヘリウム3冷凍機システム オックスフォード・インストゥルメンツ(株)
17Tマグネット・ヘリウム4VTIシステム オックスフォード・インストゥルメンツ(株)
強磁場光学測定システム クライオジェニック
大口径17Tマグネット ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株) F015
高磁場下材料・プロセス観測・制御装置 ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株) JMTD-10C13E-NC (Superconducting magnet)
ヘリウム液化システム リンデ株式会社 L280

電気計測 Electric Measurement

装置名 メーカー名 型番
ワイヤーボンダー(1) ハイソル(株)(West·Bond) 7476D
ワイヤーボンダー(2) West·Bond Model 7476D
室温プローバーシステム ベクターセミコン, アジレント・テクノロジー MX-200/B, B1500A
室温プローバー アジレント・テクノロジー(株), ハイソル(株) B1500A
低温プローバ Keithley、ナガセ電子機器  4200 SCS, Grail-408-32-B
液体窒素プローバーシステム サーマルブロック、ケースレーインスツルメンツ SB-LN2PS, 4200-SCS

物性評価 Physical Properties Evaluation

装置名 メーカー名 型番
ガス吸着型比表面積・ナノ細孔径評価装置 マイクロトラック・ベル BELSORP-max/ BELSORP-HP
接触角測定装置(材料分析装置群) AST products VCA Optima XE
強度物性測定器(材料分析装置群) 英弘精機 TA-XT2i
薄膜応力測定装置 東朋テクノロジー FLA-2000-A
分光光度計 (株)日立ハイテクノロジーズ U-2900
紫外可視近赤外分光計V-570 日本分光 V-570
紫外可視近赤外分光計V-7200 日本分光 V-7200
蛍光分光光度計(低温測定付属)(分子材料分光分析装置群) (株)日立ハイテクノロジーズ F-7000
蛍光分光計 日本分光 FP-8500DS
顕微ラマン分光計 ホリバ・ジョバンイボン T64000
顕微PL測定装置 堀場製作所 LabRamHR-PL NF(UV-NIR)
レーザー回折式粒度分布測定装置(ナノ材料分析装置群) (株)島津製作所 SALD-2100
動的光散乱光度計(ダイナミック光散乱光度計)(ナノ材料分析装置群) 大塚電子(株) DLS-8000HAL
レーザーゼータ電位計(ナノ材料分析装置群) 大塚電子(株) ELSZ-1000Z
ゼータ電位&粒径測定装置 大塚電子(株) ELSZ-2000ZS
冷却遠心機 日立工機 CF16
分光エリプソメーター J.A.Woollam
M-2000U
自動エリプソメーター ファイブラボ MARY-102FM
熱分析装置(TG/DTA+DSC) 日立ハイテクサイエンス TG/DTA 6200, X-DSC7000

形状測定 Profile Measurement

装置名 メーカー名 型番
表面段差計 ブルカージャパン(株) DekTak 6M
触針式表面段差計 ヤマト科学(株)(KLA Tencor) Alpha Step IQ
高精度三次元座標測定機 株式会社 ミツトヨ CRYSTA-Apex S9106

塑性加工 Plastic Working

装置名 メーカー名 型番
1500トン鍛造シミュレータ 住友重機械工業株式会社
25t加工熱処理シミュレータ 富士電波工機株式会社 Thermecmaster Z

 

加工・作製 Processing/Fabrication

ガラス加工 Glass Working

装置名 メーカー名 型番
硝子工作室装置群

素材作製 Metal Working

装置名 メーカー名 型番
水冷銅ルツボ高周波誘導溶解設備 富士電機、NIMS -
5kg高周波誘導真空溶解設備 日新技研 NEV-M5V
30キログラム高周波誘導真空溶解設備 日新技研 NEV-M30
加圧式エレクトロスラグ再溶解設備 日本特殊機械 型番なし
鍛造設備 (油圧プレス) 川崎油工 HFP2-300
70ton大型スウェージングマシーン 日本クロス圧延 15HP-DH4
18ton小型スウェージングマシーン 日本クロス圧延 USD-6000
熱間2段ロール圧延機 大野ロール HOT-12
溝ロール圧延機 大野ロール 2RMG-400S
冷間4段ロール圧延機 日本クロス圧延 120DX270W-300DX250W
歪み速度制御圧延機 大野ロール 2RM-400S
金属箔圧延機 有限会社トップラントエンジ
鍛圧用加熱炉(max.1250℃) 日新化熱工業  
鍛圧用移動式加熱炉(max.1200℃) 日新化熱工業 EBS-1(S)
溝圧用加熱炉(max.1250℃) 光洋サーモシステム(株) SB-20232
熱処理炉(max.1400℃) 日新化熱工業 EBS-10(S)
焼鈍用熱処理炉(max.850℃) 日新化熱工業 EB-5S
マルチ冷却式真空熱処理炉 佐藤真空株式会社
電子ビーム溶接機 三菱電機(株) EBW-35HB
ワイヤ放電加工機 ファナック株式会社 α-C400iA
材料創製共通設備群
千現機械工作室 工作機械群
並木機械工作室 工作機械群
試料作製室装置群

微細加工 Microfabrication

装置名 メーカー名 型番
125kV電子ビーム描画装置 (株)エリオニクス ELS-F125
100kV電子ビーム描画装置 (株)エリオニクス ELS-7000
EB描画装置 (株)エリオニクス ELS-7500DEX
ナノインプリント装置 東芝機械 ST50
高速マスクレス露光装置 ナノシステムソリューションズ DL-1000 / NC2P
レーザー露光装置 ナノシステムソリューションズ DL-1000
マスクアライナー ズース・マイクロテック MA6 BSA
コンタクトアライナー ズース・マイクロテック MA-6
全自動スパッタ装置 (株)アルバック J sputter
超高真空スパッタ装置 ビームトロン LS-420R
多元スパッタ装置(i-miller) 芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL
スパッタ 1号機 芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL(4G)
スパッタ 2号機 芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL
12連電子銃型蒸着装置 アールデック RDEB-1206K
多連電子ビーム蒸着装置 エイコーエンジニアリング
抵抗加熱蒸着装置 (株)アルバック VTS-350M/ERH345L
プラズマCVD装置 サムコ PD-220NL
パルスレーザー堆積装置 AOV 特型
原子層堆積装置(1) アルテック(株)/Picosun SUNALE R-100B
原子層堆積装置(2) アルテック(株)/Picosun SUNALE R-150 ALD
多目的ドライエッチング装置(フッ素系ガスCCP-RIE) サムコ RIE-200NL
化合物ドライエッチング装置(塩素系ガス ICP-RIE) サムコ RIE-101iPH
シリコン深堀エッチング装置 住友精密工業 MUC-21 ASE-SRE
酸化膜ドライエッチング装置(フッ素系ガス ICP-RIE) 住友精密工業 MUC-21 RV-APS-SE
ドライエッチング装置 (株)アルバック CE300I
高圧ジェットリフトオフ装置 カナメックス KLO-150CBU
プラズマアッシャー(1) ヤマト科学(株) PB-600
プラズマアッシャー(2) ヤマト科学(株) PB-600Z
UVオゾンクリーナー サムコ UV-1
エキシマクリーナー マルチプライ EXC-1201
ウエハRTA装置 ハイソル(株) (Allwin21) AccuThermo AW610
急速赤外線アニール炉 アルバック理工(株) QHC-P410
RTA(赤外線急速アニール炉:6inch) (株)アルバック RTP-6
RTA(赤外線急速アニール炉:20mm) (株)アルバック QHC-P410
シリコン酸化炉 光洋サーモシステム(株) 横型システム MODEL 206A-M100 
ダイシングソー ディスコ DAD322
ダイシング装置 ディスコ DAD-3220
自動スクライバー ダイトロンテクノロジー DPS-301R
CMP研磨装置 ハイソル(株) (Logitech) PM5

 

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