ターボ式真空蒸着装置（TEM試料作製装置群）
| 装置名称 | ターボ式真空蒸着装置（TEM試料作製装置群） |
|---|---|
| メーカー名 | サンユー電子 |
| 型番 | SVC-700 |
| 用途 | ・TEM試料作製 ・多種金属蒸着 |
| 仕様 | ・全自動真空蒸着装置 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 電子顕微鏡ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 103号室 |
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