触針式プロファイラー [Dektak 6M]
![触針式プロファイラー [Dektak 6M]](data/facility_item/1562900618_2.jpg)
| 装置名称 | 触針式プロファイラー [Dektak 6M] |
|---|---|
| メーカー名 | ブルカージャパン(株) |
| 型番 | DekTak 6M |
| 用途 | ・微細加工（評価・計測） |
| 仕様 | ・垂直分解能：0.1 nm ・最大垂直測定幅：262 µm ・測定長さ：50 µm～30 mm |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 並木地区 MANA棟 |
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