清浄表面組織観察FIB-SEM装置（Auriga Laser）
| 装置名称 | 清浄表面組織観察FIB-SEM装置（Auriga Laser） |
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| メーカー名 | カールツァイス |
| 型番 | ZEISS AurigaLaser |
| 用途 | SEM:ショットキーエミッタ、加速電圧最大30kV、EDS(60mm2)、EBSD(TSL Digiview)、FIB、Arイオンミリング、レーザーによる大面積加工 |
| 仕様 | 金属・セラミクス試料の分析・方位マップ取得。 多彩な検出器による組織情報の抽出。 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
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| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | × |
| 問い合わせ先部署 | 電子顕微鏡ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 先進構造材料研究棟109 |
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