電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]

装置名称	電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]
メーカー名	株式会社アールデック
型番	ADS-E86
用途	リフトオフ向け金属薄膜形成
仕様	蒸着方式：電子銃型ターゲット：Ti, Cr, Au, Al, Ni, Pt, 他到達真空度：10^-5Pa台 TS間距離：500mm 試料サイズ：最大φ8インチその他：ロードロック式自動蒸着、水冷式資料ステージ

利用時間単位	時間（1h）
機器利用料金（税抜金額）	大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間中小企業 5,500円/時間大企業 11,000円/時間
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	千現地区材料信頼性実験棟1F

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国立研究開発法人 物質・材料研究機構