触針式プロファイラー [Dektak XT-A]

装置名称	触針式プロファイラー [Dektak XT-A]
メーカー名	ブルカージャパン Bruker
型番	Dektak XT-A
用途	触針による表面形状計測・段差測定、粗さ測定、3Dマッピング、ストレス測定・Step measurement, Roughness measurement, 3D mapping, Stress measurement
仕様	・分解能：1Å（6.5μmレンジ）・走査距離：55mm ・触圧範囲：0.03-15mg ・試料サイズ：最大φ8インチ・その他：自動ステージ、3Dマップ・粗さ・ストレス測定等

利用時間単位	時間（1h）
機器利用料金（税抜金額）	大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間中小企業 5,500円/時間大企業 11,000円/時間
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	千現地区材料信頼性実験棟1F

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国立研究開発法人物質・材料研究機構