TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置(Ethos NX5000)
| 装置名称 | TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置(Ethos NX5000) |
|---|---|
| メーカー名 | 株式会社日立ハイテク |
| 型番 | Ethos NX5000 |
| 用途 | 半導体・セラミックス等のTEM試料作製 |
| 仕様 | 1. FIB: Ga液体金属イオン源、加速電圧0.5－30kV、分解能4nm (30kV)、最大ビーム電流100nA 2. SEM: 冷陰極電界放射型電子銃、加速電圧0.1－30kV、分解能0.7nm (15kV)、最大ビーム電流10nA 3. 低加速Arイオンビーム：加速電圧0.5－2kV、最大ビーム電流20nA |
| 利用時間単位 | 時間(1h) |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 電子顕微鏡ユニット |
| 設置場所 | 並木地区 無振動特殊実験棟107号室 |
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