水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]

装置名称	水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]
メーカー名	サムコ
型番	AQ-500
用途	・金属酸化膜の還元・有機汚れの洗浄・レジストアッシング・親水化処理
仕様	・高周波出力：50-250W ・反応ガス：H2O, O2 ・自動運転プログラム・試料サイズ：最大φ8インチ

利用時間単位	時間(1h)
機器利用料金（税抜金額）	大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間中小企業 5,500円/時間大企業 11,000円/時間
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	並木地区 MANA棟

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国立研究開発法人 物質・材料研究機構