電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]

装置名称	電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]
メーカー名	日本電子
型番	JBX-8100FS
用途	・極微細パターニング
仕様	・常用加速電圧：100kV（最大200kV）・クロック周波数：125MHz ・12カセット自動搬送・試料サイズ：最大φ8インチ

利用時間単位	時間(1h)
機器利用料金（税抜金額）	大学・公的機関・スタートアップ企業 16,500円/時間中小企業 27,500円/時間大企業 55,000円/時間
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	千現地区材料信頼性実験棟1F

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国立研究開発法人 物質・材料研究機構