分光エリプソメーター [UNECS-2000A]

装置名称	分光エリプソメーター [UNECS-2000A]
メーカー名	アルバック
型番	UNECS-2000A
用途	・微細加工（評価・計測）
仕様	・光源：ハロゲンランプ・波長範囲：530～750 nm ・スポット径：1mm ・入射角：70°固定・試料サイズ：最大φ200mm

利用時間単位	時間(1h)
機器利用料金（税抜金額）	大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間中小企業 5,500円/時間大企業 11,000円/時間
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	千現地区材料信頼性実験棟1F

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国立研究開発法人 物質・材料研究機構