触針式プロファイラー [Dektak XT-A #2]
![触針式プロファイラー [Dektak XT-A #2]](data/facility_item/1732147352_15.jpg)
| 装置名称 | 触針式プロファイラー [Dektak XT-A #2] |
|---|---|
| メーカー名 | ブルカー |
| 型番 | Dektak XT-A |
| 用途 | ・段差測定 ・粗さ測定 ・3Dマッピング ・ストレス測定 ・Step measurement ・Roughness measurement ・3D mapping ・Stress measurement |
| 仕様 | 【性能・仕様】 ・分解能：1Å（6.5μmレンジ） ・走査距離：55mm ・触圧範囲：0.03-15mg ・試料サイズ：最大φ8インチ ・その他：自動ステージ、3Dマップ・粗さ・ストレス測定、等 【特徴】 ・触針による表面形状計測 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 並木地区 MANA棟5階 |
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