FE-SEM+EDX [JSM-IT800]

装置名称	FE-SEM+EDX [JSM-IT800]
メーカー名	日本電子株式会社
型番	JSM-IT800
用途	・形状観察・構造計測・材料分析
仕様	【性能・仕様】・加速電圧：0.01～30kV ・倍率：50～200万倍・分解能：0.6nm(15kV),1.5nm(1kV) ・検出器：SED, UID ・最大試料サイズ：6インチφ ・EDX：JEOL製EX-74710U1L4Q 【特徴】・低真空SEM対応・EB描画パターンデータ読込可能

利用時間単位	時間（1h）
機器利用料金（税抜金額）	大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間中小企業 5,500円/時間大企業 11,000円/時間
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	千現地区材料信頼性実験棟116室

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国立研究開発法人 物質・材料研究機構