蒸気二流体洗浄装置 [SSM101]
![蒸気二流体洗浄装置 [SSM101]](data/facility_item/1738221960_16.jpg)
| 装置名称 | 蒸気二流体洗浄装置 [SSM101] |
|---|---|
| メーカー名 | HUGパワー |
| 型番 | SSM101 |
| 用途 | 洗浄、リフトオフ、蒸気二流体、純水 |
| 仕様 | 【性能・仕様】 ・用途：基板洗浄、リフトオフ ・手法：蒸気二流体超音速噴射 ・溶液：純水 ・乾燥：スピン乾燥、N2ブロー ・最大試料サイズ：φ6inch 【特徴】 ・蒸気二流体による洗浄・リフトオフを行う装置。 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟102室 |
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