イオンビームミリング複合装置 [16IBE-NIMS_SS]
![イオンビームミリング複合装置 [16IBE-NIMS_SS]](skin/common/img/parts/no_image.png)
| 装置名称 | イオンビームミリング複合装置 [16IBE-NIMS_SS] |
|---|---|
| メーカー名 | 伯東 |
| 型番 | 16IBE-NIMS_SS |
| 用途 | 磁性材料等のミリング加工 |
| 仕様 | ・プラズマ励起方式：直流放電型（カウフマン型） ・イオンビーム電圧：100-1000V ・イオンビーム電流：800mA ・プロセスガス：Ar ・グリッド径：φ16cm ・最大試料サイズ：φ6inch ・その他：RFスパッタ機構装備、SIMS検出器装備 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟102室 |
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