レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000]

装置名称	レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000]
メーカー名	オリンパス
型番	LEXT OLS4000
用途	・非接触3次元形状観察、計測
仕様	・光源　405nm半導体レーザー・分解能　XY：0.12um／Z：0.01um ・繰り返し性　XY：3σ=0.02um,／Z：1σ=0.012um（対物レンズ100倍時）・観察モード　レーザー観察，白色光明視野，微分干渉観察・試料サイズ　100mm角以下

利用時間単位	時間（1h）
機器利用料金（税抜金額）	大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間中小企業 5,500円/時間大企業 11,000円/時間
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	千現地区材料信頼性実験棟1F

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国立研究開発法人 物質・材料研究機構