微細組織三次元マルチスケール解析装置（SMF-1000）
| 装置名称 | 微細組織三次元マルチスケール解析装置（SMF-1000） |
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| メーカー名 | (株)日立ハイテクサイエンス |
| 型番 | SMF-1000 |
| 用途 | ・3D像再構築 ・STEM観察 ・TEM試料作製 ・EDS測定 |
| 仕様 | ・トリプルビーム（FIB-SEM-Arイオン）装置 ・FIBは最高1nmピッチで制御可能 ・加工と観察を繰り返すことで3D像再構築が可能 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
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| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 電子顕微鏡ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 先進構造材料研究棟 109室 |
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