FE-SEM [S-4800]

装置名称	FE-SEM [S-4800]
メーカー名	(株)日立ハイテクノロジーズ
型番	S-4800
用途	・微細加工（評価・計測）・ナノ加工・構造・材料の観察・計測
仕様	・電子銃　ZrO/W 電界放射型・加速電圧　0.1-30kV ・2次電子像分解能　1.0nm （ノーマル：15kV）　1.4nm （リターディング：1.0kV）

利用時間単位	時間（1h）
機器利用料金（税抜金額）	大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間中小企業 5,500円/時間大企業 11,000円/時間
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	千現地区材料信頼性実験棟1F

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国立研究開発法人 物質・材料研究機構