FE-SEM+EDX [SU8230]

装置名称	FE-SEM+EDX [SU8230]
メーカー名	(株)日立ハイテクノロジーズ
型番	SU8230
用途	・微細加工（評価・計測）
仕様	・冷陰極電界放出電子銃・分解能：0.8 nm (15 kV) , 1.1 nm (1 kV) ・付加機能：EDX、反射電子検出器、簡易STEM(明.暗視野)

利用時間単位	時間（1h）
機器利用料金（税抜金額）	大学・公的機関・スタートアップ企業 6,600円/時間中小企業 11,000円/時間大企業 22,000円/時間
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	並木地区 MANA棟

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国立研究開発法人 物質・材料研究機構