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オスミウムコーター（TEM試料作製装置群）
- メーカー名
- 株式会社真空デバイス
- 型番
- HPC-1SW
- 仕様
- ・蒸着方式: 2極DCグロー放電スパッタ
・ターゲット: オスミウム
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
微細組織三次元マルチスケール解析装置（SMF-1000）
- メーカー名
- (株)日立ハイテクサイエンス
- 型番
- SMF-1000
- 仕様
- ・トリプルビーム（FIB-SEM-Arイオン）装置
・FIBは最高1nmピッチで制御可能
・加工と観察を繰り返すことで3D像再構築が可能
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業9,900円/時間
- 中小企業16,500円/時間
- 大企業33,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
TEM試料作製用集束イオンビーム加工装置（Scios 2）
- メーカー名
- サーモフィッシャー
- 型番
- ThermoFisher Scios2
- 仕様
- FIBによるTEM試料作製
金属・セラミクス試料の高速分析・方位マップ取得
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業9,900円/時間
- 中小企業16,500円/時間
- 大企業33,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置(Ethos NX5000)
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテク
- 型番
- Ethos NX5000
- 仕様
- 1. FIB: Ga液体金属イオン源、加速電圧0.5－30kV、分解能4nm (30kV)、最大ビーム電流100nA
2. SEM: 冷陰極電界放射型電子銃、加速電圧0.1－30kV、分解能0.7nm (15kV)、最大ビーム電流10nA
3. 低加速Arイオンビーム：加速電圧0.5－2kV、最大ビーム電流20nA
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業9,900円/時間
- 中小企業16,500円/時間
- 大企業33,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
FIB加工装置（JIB-4000）
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JIB-4000
- 仕様
- ・加速電圧：30kV
・分解能：5nm
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
FIB加工装置（JEM-9310FIB）
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JEM-9310FIB
- 仕様
- ・加速電圧：30kV
・分解能：8nm
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
FIB加工装置（JEM-9320FIB）
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JEM-9320FIB
- 仕様
- ・加速電圧：30kV
・分解能：6nm
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
FIB/SEM精密微細加工装置（Helios 650）
- メーカー名
- 日本エフイー・アイ株式会社 FEI Company Japan Ltd.
- 型番
- Helios 650
- 仕様
- 1. SIM像分解能5nm（@30kV）、最大電流65nA
2. SEM像分解能1.5nm（@1kV）、最大電流26nA
3. E-beam: 350V～30 kV、I-Beam: : 500V～30 kV
4. 試料ステージ: XY150 mm、Z10 mm、T: -9°～+57°、R: 360°
5. Ptデポ
6. サンプルリフトアウトシステム
【特徴】1.集束イオンビーム(FIB)加工が可能 2.走査型電子顕微鏡(SEM)観察が可能 3.カラム内で加工薄片をリフトアウト（マイクロサンプリング)可能,【備考】機器利用は利用前に講習が必要
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
- 中小企業11,000円/時間
- 大企業22,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
デュアルビーム加工観察装置（NB5000）
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- NB5000
- 仕様
- ・FIB :Acc.Volt. 1～40 kV, max.current 50 nA
・SEM :Acc. Volt. 0.5～30 kV, resolution 1 nm@15kV
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業9,900円/時間
- 中小企業16,500円/時間
- 大企業33,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
清浄表面組織観察FIB-SEM装置（Auriga Laser）
- メーカー名
- カールツァイス
- 型番
- ZEISS AurigaLaser
- 仕様
- 金属・セラミクス試料の分析・方位マップ取得。
多彩な検出器による組織情報の抽出。
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業13,200円/時間
- 中小企業22,000円/時間
- 大企業44,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
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