低温プローバー [GRAIL-408-32-B]

装置名称	低温プローバー [GRAIL-408-32-B]
メーカー名	Keithley,ナガセ電子機器
型番	4200 SCS, Grail-408-32-B
用途	・微細加工（電気測定）
仕様	・温度範囲：8～300 K ・サンプルサイズ：最大4 inch Φ ・マニピュレーター：4本・半導体パラメータアナライザ：4系統・高速パルスI-V測定

利用時間単位	時間（1h）
機器利用料金（税抜金額）	大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間中小企業 5,500円/時間大企業 11,000円/時間
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	並木地区 MANA棟 504号室

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国立研究開発法人 物質・材料研究機構