UVオゾンクリーナー [UV-1]

装置名称	UVオゾンクリーナー [UV-1]
メーカー名	サムコ
型番	UV-1
用途	・基板洗浄・表面改質
仕様	・光源：紫外線ランプ（184.9nm＆253.7nm）・ステージ温度：室温～300℃ ・試料サイズ：最大φ8インチ

利用時間単位	時間（1h）
機器利用料金（税抜金額）	大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間中小企業 5,500円/時間大企業 11,000円/時間
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	千現地区材料信頼性実験棟 102号室

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国立研究開発法人 物質・材料研究機構