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NIMS Open Facility 設備削除のお知らせ(2024(令和6)年10月)

NIMS Open Facilityの設備について、新規登録、登録削除がありましたので、以下のとおりお知らせいたします。

設備削除

以下の設備は、NIMS Open Facilityの共用設備から削除されました。これまでご利用いただきありがとうございました。

  • 電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS](10/31付)
  • 原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE](10/31付)
  • スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #4](10/31付)

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