No.13 薄膜形成プロセス（蒸着／スパッタ成膜）
プログラム概要
アールデック, RDEB-1206K
カナメックス, KLO-150CBU
対象
初級者
講習形式
座学と実習
開催日
(上期)2019年8月7日(水)
(下期)2019年12月4日(水)
時間
10:00～17:00
定員
2名
開催場所
千現地区
内容
蒸着/スパッタ成膜による薄膜形成プロセスの概要から、リフトオフプロセスによるラインパターン形成に関する講義及び実習を行います。蒸着/スパッタ成膜装置未経験の方におすすめのプログラムです。
問い合わせ先
このページに関するお問い合わせは技術開発・共用部門です。
メールでのお問い合わせはこちらアンケート
NIMS Open Facilityホームページをより良いサイトにするために、皆さまのご意見・ご感想をお聞かせください。
なお、この欄からのご意見・ご感想には返信できませんのでご了承ください。
- 2019年8月16日
- 印刷する