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NIMS Open Facility 装置名称変更、新規登録、登録削除のお知らせ（2023(令和5)年1月）

NIMS Open Facilityの設備について、装置名称変更、新規登録、登録削除がありましたので、以下のとおりお知らせ致します。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

装置名称変更

　　　　　　          装置名(変更前) 　　　　　　         装置名(変更後)

125kV電子ビーム描画装置

 電子ビーム描画装置 [ELS-F125]
高速高精細電子ビーム描画装置 電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
高解像度レーザーリソグラフィ装置 レーザー描画装置 [DWL66+]
レーザー露光装置 マスクレス露光装置 [DL-1000]
高速マスクレス露光装置 マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]
コンタクトアライナー マスクアライナー [MA-6]
水蒸気プラズマ洗浄装置 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500]
UVオゾンクリーナー UVオゾンクリーナー [UV-1]
プラズマアッシャー プラズマアッシャー [PB600]
エキシマクリーナー エキシマクリーナー [EXC-1201]
全自動スパッタ装置 スパッタ装置 [JSP-8000]
スパッタ 1号機 スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #1]
スパッタ 2号機 スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2]
多元スパッタ装置 (i-miller) スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]
12連電子銃型蒸着装置 電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]
6連自動蒸着装置 電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]
多連電子ビーム蒸着装置 電子銃型蒸着装置 [MB-501010]
原子層堆積装置 原子層堆積装置 [SUNALE R-150]
多機能型原子層堆積装置 原子層堆積装置 [AD-230LP]
プラズマCVD装置 SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL]
高圧ジェットリフトオフ装置 リフトオフ装置 [KLO-150CBU] 
多目的ドライエッチング装置 CCP-RIE装置 [RIE-200NL]
化合物ドライエッチング装置 ICP-RIE装置 [RIE-101iPH]
酸化膜ドライエッチング装置 ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]
ドライエッチング装置 ICP-RIE装置 [CE300I]
シリコン深堀エッチング装置 シリコンDRIE装置 [ASE-SRE]
ICP原子層エッチング装置 原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE]
RTA（赤外線急速アニール炉：6inch） 赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1]
赤外線ランプ加熱装置 赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #2]
走査電子顕微鏡 FE-SEM [S-4800]
FE-SEM(S-4800)+EDX FE-SEM+EDX [S-4800]
FE-SEM(SU8000)+EDX FE-SEM+EDX [SU8000]
FE-SEM（SU8230）＋EDX FE-SEM+EDX [SU8230]
ミニSEM+EDX 卓上電子顕微鏡 [TM3000]
高速広域走査型プローブ顕微鏡 走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]
AFM（原子間力顕微鏡） 走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]
走査プローブ顕微鏡 走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5]
3次元測定レーザー顕微鏡 レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000]
カラーレーザー顕微鏡 レーザー顕微鏡 [VK-9700]
FIB-SEMダブルビーム装置 FIB-SEM装置 [XVision200DB]
イオンスパッタ イオンスパッタ [E-1045]
触針式プロファイラ(触針式3次元形状計測装置) 触針式プロファイラー [Dektak XT-A]
表面段差計 触針式プロファイラー [Dektak 6M]
自動エリプソメーター エリプソメーター [MARY-102FM]
分光エリプソメーター 分光エリプソメーター[M2000]
顕微式自動膜厚測定システム 顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV]
薄膜応力測定装置 薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A]
ダイシングソー ダイシングソー [DAD322]
ダイシング装置 ダイシングソー [DAD3220]
室温プローバーシステム 室温プローバー [MX-200/B]
室温プローバー 室温プローバー [HMP-400]
低温プローバー 低温プローバー [GRAIL-408-32-B]
液体窒素プローバーシステム 液体窒素プローバー [SB-LN2]
ワイヤーボンダー(1) ワイヤーボンダー [7476D #2]
ワイヤーボンダー(2) ワイヤーボンダー [7476D #1]
クリーンルーム（並木） 並木クリーンルーム

新規登録

以下の設備が、NIMS Open Facilityとして新しく登録されました。ぜひご利用ください。

登録削除

以下の設備は、NIMS Open Facilityの共用設備から削除されました。これまでご利用いただきありがとうございました。

  • ウエハＲＴＡ装置（1/1付）
  • フェムト秒レーザー装置（IFRIT)（1/1付）

以上

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