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NIMS Open Facility 設備削除のお知らせ（2024(令和6)年10月）
NIMS Open Facilityの設備について、新規登録、登録削除がありましたので、以下のとおりお知らせいたします。
設備削除
以下の設備は、NIMS Open Facilityの共用設備から削除されました。これまでご利用いただきありがとうございました。
- 電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]（10/31付）
- 原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE]（10/31付）
- スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #4]（10/31付）
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