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NIMS Open Facility、新規登録のお知らせ（2024(令和6)年2月）
NIMS Open Facilityの設備について、新規登録がありましたので、以下のとおりお知らせいたします。
設備登録
以下の設備は、NIMS Open Facilityとして新しく登録されました。ぜひご利用ください。
- 低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #1]（2/1付）
- 低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #2] （2/1付）
以上
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