NIMS Open Facilityの設備について、新規登録、登録削除がありましたので、以下のとおりお知らせいたします。

設備登録

以下の設備は、NIMS Open Facilityとして新しく登録されました。ぜひご利用ください。

• マスクレス露光装置 [MLA150]（4/1付）
• 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]（4/1付）

設備削除

以下の設備は、NIMS Open Facilityの共用設備から削除されました。これまでご利用いただきありがとうございました。

• プラズマアッシャー [PB600]（4/1付）
• エキシマクリーナー [EXC-1201]（4/1付）
• 20Tマグネット・希釈冷凍機システム（4/1付）
• 20Tマグネット・ヘリウム3冷凍機システム（4/1付）
• 17Tマグネット・ヘリウム4VTIシステム（4/1付）
• 高磁場下材料・プロセス観測・制御装置 （4/1付）

以上